Theo phát ngôn viên ASML Monique Mols, khách hàng thứ hai của công ty nhận máy quang khắc siêu cực tím (EUV) sử dụng công nghệ khẩu độ số lớn High-NA EUV là TSMC - hãng gia công chip lớn nhất thế giới. Cỗ máy sẽ được bàn giao vào cuối năm.
Một cỗ máy quang khắc của ASML. Ảnh: ASML
Cuối năm ngoái, công ty Hà Lan đã giao cỗ máy đầu tiên mang tên Twinscan EXE:5000, cho Intel và hiện lắp đặt tại nhà máy ở Oregon (Mỹ).
Vào tháng 4, Christophe Fouquet, Giám đốc kinh doanh của ASML, cho biết đã "bắt đầu vận chuyển hệ thống thứ hai", nhưng từ chối đề cập tên khách hàng.
High-NA EUV trang bị hệ thống quang học chiếu khẩu độ số (NA) đạt 0,55 NA tốt nhất. Hiện có nhiều bên quan tâm đến High-NA EUV vì hệ thống có thể phục vụ cả quá trình sản xuất chip logic lẫn chip nhớ. "So với 0,33 NA, hệ thống 0,55 NA cung cấp hiệu suất tốt hơn, cho phép tăng mật độ bóng bán dẫn gần gấp ba lần, hỗ trợ các nút DRAM dưới 2 nm và chip logic dưới 10 nm", Fouquet cho biết.
Theo Tom's Hardware, Intel, Samsung và TSMC đều đang đặt mục tiêu sản xuất chip 2 nm và tiến tới mốc 1,4 nm trong vài năm tới, do đó High-NA EUV đang trở thành mục tiêu săn lùng dù giá tới 380 triệu USD và kích thước tương đương hai chiếc máy bay Airbus A320.
TSMC từng nêu mối lo ngại về mức giá của High-NA EUV. "Tôi thích sức mạnh của High-NA EUV, nhưng không thích mức giá", Kevin Zhang, Phó chủ tịch TSMC, nói hồi tháng 5.
Zhang cũng cho biết công ty sẽ sản xuất các chip từ nút A16 (tương đương từ 1,6 nm trở lên) vào cuối năm 2026 mà không cần High-NA EUV. Đến 2028, công ty mới sản xuất chip trên quy trình A14 và lúc này mới cần cỗ máy quang khắc hiện đại nhất của ASML.
