Ngày 17/4, ASML cho biết bắt đầu vận chuyển cỗ máy quang khắc siêu cực tím sử dụng công nghệ khẩu độ số lớn High-NA EUV cho khách hàng. Đây là máy quang khắc đầu tiên trên thế giới có hệ thống quang học chiếu khẩu độ số (NA) đạt 0,55 NA tốt nhất hiện nay.
Cuối năm ngoái, ASML đã giao mẫu High-NA EUV đầu tiên, tức Twinscan EXE:5000, cho Intel. Hồi tháng 2, công ty chip Mỹ đã chia sẻ video lắp ráp máy này.
"Về High-NA, hoặc 0,55 NA EUV, chúng tôi đã chuyển hệ thống đầu tiên cho khách hàng", Christophe Fouquet, Giám đốc kinh doanh của ASML, cho biết. "Chúng tôi đã bắt đầu vận chuyển hệ thống thứ hai trong tháng này và việc lắp đặt cũng sắp bắt đầu".
Các kỹ sư ASML đang kiểm tra một hệ thống quang khắc. Ảnh: ASML
Fouquet từ chối đề cập khách hàng đã nhận máy thứ hai. Tuy nhiên, theo Tom's Hardware, cái tên có nhiều khả năng nhất là TSMC, công ty gia công chip lớn nhất thế giới. Cả hai hiện có mối quan hệ đối tác thân thiết nhiều năm qua. Reuters nhận định TSMC là cái tên khả dĩ nhất, nhưng Samsung cũng có khả năng cao. Cả TSMC và Samsung trước đây đều thông báo kế hoạch áp dụng hệ thống mới cho việc sản xuất chip.
Mỗi máy High-NA EUV có giá 380 triệu USD (9.281 tỷ đồng), nặng 150 tấn, tương đương hai máy bay chở khách Airbus A320. Theo phát ngôn viên ASML Monique Mols, quá trình vận chuyển và lắp đặt mỗi máy cần 250 thùng hàng và 250 kỹ sư làm việc liên tục 6 tháng.
Theo Fouquet, hiện có nhiều khách hàng quan tâm đến High-NA EUV, bởi hệ thống có thể phục vụ tốt cả quá trình sản xuất chip logic lẫn chip nhớ. "So với 0,33 NA, hệ thống 0,55 NA cung cấp hiệu suất tốt hơn, cho phép tăng mật độ bóng bán dẫn gần gấp ba lần, hỗ trợ các nút DRAM dưới 2 nm và chip logic dưới 10 nm", Fouquet nói.
Bên cạnh Hight-NA, Fouquet cũng cho biết công ty đang khám phá công cụ in thạch bản Hyper-NA EUV thế hệ mới, với hệ thống quang học chiếu có khẩu độ số cao hơn 0,7 NA.
ASML vừa công bố kết quả tài chính quý I/2024 không như mong đợi. Công ty đạt doanh thu 5,64 tỷ USD, giảm từ mức 7,73 tỷ USD của cùng kỳ quý trước. Doanh số bán hệ thống in thạch bản của ASML cho khách hàng ở Trung Quốc chiếm kỷ lục 49%, tương đương 2,5 tỷ USD. Con số này gây ngạc nhiên, bởi công ty Hà Lan chưa bán các mẫu EUV cho Trung Quốc, trong khi cũng không được phép bán thiết bị quang khắc cực tím sâu DUV kể từ 1/1.
