Ngày 17/4, ASML cho biết bắt đầu vận chuyển cỗ máy quang khắc siêu cực tím sử dụng công nghệ khẩu độ số lớn High-NA EUV cho khách hàng. Đây là máy quang khắc đầu tiên trên thế giới có hệ thống quang học chiếu khẩu độ số (NA) đạt 0,55 NA tốt nhất hiện nay.
Cuối năm ngoái, ASML đã giao mẫu High-NA EUV đầu tiên, tức Twinscan EXE:5000, cho Intel. Hồi tháng 2, công ty chip Mỹ đã chia sẻ video lắp ráp máy này.
