ASML hiện đang là nhà sản xuất hệ thống quang khắc lớn nhất thế giới để sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn . Công ty được thành lập vào năm 1984 với tên gọi ASM Lithography bởi liên doanh giữa “gã khổng lồ” điện tử Philips của Hà Lan và nhà sản xuất máy chip Advanced Semiconductor Materials International (ASMI).
Ban đầu, công ty gặp nhiều khó khăn về kinh phí, họ phải thuê một nhà kho dột nát bên cạnh văn phòng Philips ở Eindhoven, Hà Lan. Hệ thống in thạch bản đầu tiên của công ty, có tên là PAS 2000 stepper, được ra mắt cùng năm đó. Đến năm 1988, ASML mở rộng sang thị trường châu Á sau khi công ty thành lập một xưởng đúc liên doanh tại Đài Loan. Nhưng, khi này công ty vẫn là một công ty nhỏ và trải qua sự cạnh tranh khốc liệt trong một thị trường có nhiều nhà cung cấp.
