"Chúng tôi kêu gọi Hà Lan thể hiện tính công minh, tôn trọng nguyên tắc thị trường và luật pháp, thực hiện những hành động thiết thực để bảo vệ lợi ích chung của cả hai nước và doanh nghiệp, cũng như duy trì ổn định chuỗi cung ứng quốc tế", phát ngôn viên Bộ Ngoại giao Trung Quốc Uông Văn Bân cho biết hôm nay.
Ông Uông đưa ra phát biểu khi được đề nghị bình luận về thông tin chính phủ Hà Lan đã thu hồi một phần giấy phép xuất khẩu máy quang khắc DUV của công ty ASML sang Trung Quốc. Động thái của Hà Lan được tiến hành sau khi chính phủ Mỹ năm ngoái công bố quy định mới, ngăn ASML xuất khẩu máy quang khắc NXT1930Di nếu nó chứa linh kiện của Mỹ.
Kỹ sư ASML bên hệ thống máy quang khắc ở Hà Lan tháng 4/2019. Ảnh: Reuters
Hãng chế tạo máy quang khắc Hà Lan nói quyết định này đã ảnh hưởng tới số nhỏ khách hàng tại Trung Quốc, nhưng không nêu tên cụ thể.
Tập đoàn bán dẫn SMIC, một trong các khách hàng Trung Quốc của ASML, cùng các hãng sản xuất chip Hua Hong, Nexchip Semiconductor, Wuhan Xinxin Integration Dianlu Manufacture và United Nova Technology chưa bình luận về thông tin.
Quang khắc là quá trình in sơ đồ mạch lên bề mặt cảm quang của tấm silicon bằng cách chiếu tia sáng về phía tấm nền silicon (wafer) qua một đĩa thủy tinh được vẽ sẵn sơ đồ mạch. Mạch càng nhỏ càng cần những đèn chiếu tia sáng có bước sóng ngắn hơn
ASML đóng vai trò then chốt trong chuỗi cung ứng bán dẫn toàn cầu khi sở hữu hai hệ thống sản xuất chip tiên tiến là DUV và hệ thống quang khắc sử dụng tia siêu cực tím EUV hiện đại hơn nhiều lần. Trong khi DUV sử dụng tia sáng với bước sóng 193 nanomet (nm), EUV có mức nhỏ hơn nhiều là 13,5 nm, từ đó cho phép sản xuất chip có tiến trình hiện đại, thường là 5 nm trở xuống.
Trung Quốc những năm qua là thị trường lớn thứ ba của ASML, chỉ sau đảo Đài Loan và Hàn Quốc, và đã trở thành khách hàng lớn nhất trong quý III/2023 với 46% doanh số của ASML. ASML chưa bán máy EUV cho Trung Quốc vì các lệnh hạn chế xuất khẩu từ năm 2019, nhưng vẫn cung cấp máy DUV trong thời gian qua.
Trung Quốc cũng đang nỗ lực bắt kịp công nghệ chế tạo máy quang khắc để tăng khả năng tự chủ của chuỗi cung ứng nội địa. Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) hiện là nhà sản xuất máy quang khắc duy nhất của Trung Quốc, nhưng công nghệ của họ vẫn thua kém nhiều so với ASML và các tập đoàn Nhật Bản.
(Theo Reuters)
