Theo danh sách thiết bị quan trọng của Bộ Công nghiệp và Công nghệ Thông tin Trung Quốc (MIIT) công bố cuối tuần trước, hai máy quang khắc mới "đạt được những đột phá công nghệ quan trọng, sở hữu quyền sở hữu trí tuệ nhưng chưa được thương mại hóa". MIIT không nêu tên công ty đứng sau, nhưng cho biết sử dụng công nghệ quang khắc bằng tia cực tím sâu (DUV).
Một công nhân trên dây chuyền sản xuất chip Trung Quốc ở tỉnh Giang Tô ngày 28/2/2023. Ảnh: AFP
