Dự án do nhà khoa học Nikolay Chkhalo dẫn đầu hướng đến phát triển các máy quang khắc tia cực tím (EUV) của riêng Nga, với cách tiếp cận khác biệt so với công nghệ hiện có của ASML. Thay vì sử dụng bước sóng 13,5 nm phổ biến trên các hệ thống của ASML, Nga chọn bước sóng 11,2 nm.
Theo ông Chkhalo, thuộc Viện Vật lý Cấu trúc vi mô, Viện Hàn lâm Khoa học Nga, bước sóng 11,2 nm không chỉ tăng độ phân giải lên 20% mà còn đơn giản hóa thiết kế quang học và giảm chi phí sản xuất. Những chiếc máy EUV mới này sẽ sử dụng tia laser chạy bằng xenon, thay vì công nghệ sử dụng thiếc như của ASML.
