Các nhà khoa học Nga vừa nghiên cứu thành công công nghệ chế tạo máy quang khắc đa chùm nội địa. Thiết bị này hứa hẹn cho năng suất cao gấp hàng nghìn lần so với máy đơn chùm truyền thống với mức giá rẻ hơn các dòng máy đa chùm nhập khẩu.
Đáng chú ý, công nghệ mới có thể ứng dụng trong sản xuất các dòng vi mạch tiên tiến theo tiến trình chỉ vài nanomet. Vấn đề cốt lõi hiện nay là làm sao để công nghệ bán dẫn thế giới không tiến quá xa trước khi Nga kịp đưa các hệ thống này vào sản xuất đại trà.
